普达特科技：成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备
2026-02-11热点栏目
普达特科技（00650）发布公告，公司已成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备。该设备广泛应用于28/14/7nm等先进制程的关键清洗工艺 ，市场目前主要由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备 ，经过前期测试验证，在技术性能方面均达到对标海外设备 ，且具备国内领先、国际一流的高温控制能力 ，可覆盖至190℃的高温硫酸清洗工艺 。同时，该设备具备集成化与兼容性设计 ，并采用灵活的应用配置 ，可为客户提供更具综合竞争力的解决方案 。
此外，公司近期已成功向4家客户交付5台单片晶圆清洗设备 ，包括：向一家12英寸晶圆代工厂客户 ，成功交付一台OCTOPUS设备，用于28nm制程的关键清洗道次；向一家12英寸高性能模拟与功率器件客户 ，成功交付一台OCTOPUS设备与一台CUBE设备等。上述成功交付的订单中 ，有两台设备订单为来自现有客户的重复订单 。公司亦获得一台OCTOPUS设备重复订单，该设备即将进行交付 。上述订单的收入均暂未确认。
未来，公司将继续致力于完成该等半导体清洗设备的订单交付与验收 ，并充分发挥公司技术团队在半导体湿法技术方面的优势 ，继续扩大高质量半导体客户在关键应用领域对公司设备的采用 。
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